ОРЕЛ Установка контроля изделий микроэлектроники

Рабочий интервал температур окружающей среды (температура°С / влажность %)

от +5 до +30

(не более 80 при +25°С)

Габариты обследуемых объектов, мм

до 500х500

Максимальная толщина просвечиваемых изделий (Fe), мм

18

Диапазон регулировки напряжения, кВ

от 20 до 150

Размер фокусного пятна излучателя, мкм

10

Формат рабочего поля преобразователя, мм

300х400

Максимальный коэффициент геометрического увеличения, крат

до 250

Мощность дозы на расстоянии 10см от внешней поверхности, мкЗв/ч

не более 1,0

Срок службы изделия, лет

5